2024 第三届全国电子材料与器件大会，介绍了聚焦离子束——电子束双束技术、离子光学系统、离子光学系统设计及优化以及结论等。
关键词： 离子束 电子束 离子光学系统 FIB
主讲人：李文萍 副教授 机构：北京航空航天大学
时长：0:12:16 年代：2024年
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